在洁净室测试中，微小风速和气流测量很重要，对于诸多半导体产品的质量把控更是有着不可替代的作用。依据不同的测试目的，相应的风速测试方法也存在差异。

市面上大多数风速仪均为叶轮式风速仪，此类仪器在测量洁净室微小风速方面存在短板，且难以实现 3D 气流立体成像。鉴于此，科研人员精心研发出三维立体超声波风速计，它能够精准追踪从微风 0m/s 延伸至高风速的整个过渡变化过程。

该设备的生产厂家运用独特的超声波检测方式，因此无需因温度变化而对仪器进行校正。除此之外，还可借助其检测气流的温度状况。无论是用于紊流室还是单向流洁净室，这一风速计均具备精密检测各个断面以及每个点位处微小气流变化的能力。

同时，借助气流监控软件，能够从多点、多角度记录室内各点的平均风速、标准偏差，并以画面形式直观显示；还能通过三维画面呈现风向的大小矢量图，为使用者提供室内仿真效果图，以便更清晰地了解洁净室内的气流情况。

FT-SWF2 三维超声波风速仪是一款高性能风速仪。其采用不锈钢外壳，耐腐蚀，可在恶劣环境下工作。

它利用超声波测量气体流速，通过测量超声波在气体介质中的传播速度差来计算风速，具有非接触、高精度、实时性强等特点。风速测量范围 0-70m/s，精度 ±3%，分辨率 0.1m/s；风向测量范围 0-360°，精度 ±2°，分辨率 0.1°。

该仪器无机械转动部件，不易损坏，维护成本低。采用微处理器和高精度的传感器，保证了测量数据的准确性和稳定性。其体积小、重量轻、安装方便，可广泛应用于气象、环保、能源等领域，为风速风向的测量提供有力支持。

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